奈米碳管技術應用於半導體三維封裝的概念實作與評估

由顏敬旻著作·2021—摘要.本論文提出以奈米碳管作為矽穿孔填充導電材料的模組化3DIC製程概念,以奈米碳管與電子元件獨立生產作為基礎,示範三維晶片的概念實作。奈米碳管成長製程以二茂鐵作為 ...

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