机械制造技术第五章精密与超精密加工.

包括三个主要工序:X射线曝光腐蚀溶解抗蚀剂电铸铸型注射成形零件LIGA制作零件过程1)以同步加速器放射的短波长(<1nm)X射线作为曝光光源,在厚度达0.5mm的光致 ...

机械制造技术第五章精密与超精密加工.

包括三个主要工序: X射线曝光 腐蚀溶解 抗蚀剂 电铸 铸型 注射成形零件 LIGA制作零件过程 1)以同步加速器放射的短波长(<1nm)X射线作为曝光光源,在厚度达0.5mm的光致 ...

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