國立交通大學機械工程研究所碩士論文 | 私立大學五星教授網

蝕刻(Etching). ▫. 表面物質去除化的製程: 化學蝕刻、物理蝕刻、複合蝕刻. ▫. 選擇性蝕刻或整面全區蝕刻. ▫. 選擇性蝕刻將IC光阻上的設計圖形轉移至晶圓表面層. ▫.

蝕刻製程是指介電質蝕刻或導體蝕刻，用以指明從晶圓上移除的薄膜材料類型。應用材料公司的蝕刻創新技術可滿足挑戰性持續提高的製程要求轉折點(例如: 3D NAND、EUV 圖案 ...

蝕刻製程乃是將經過微. 影製程在表面定義出IC. 電路圖案的晶圓， 以. 化學腐蝕反應的方式，. 或物理撞擊的方式，或. 上述兩種方式的合成效. 果，去除部份材質，留.

到了近代，現在的蝕刻應用在半導體的製程上，透過黃光製程來定義出想要的圖形，利用蝕刻來得到。 半導體的蝕刻可分為乾式蝕刻與溼式蝕刻：. 乾式蝕刻：透過電漿的解離 ...

2019年7月9日 — 或是如果是問他們知不知道比較細的製程了話，可以用“process,所以說“How much do you know about the etching process? 蝕刻英文應該是etching但是我

由 廖木生 著作 · 2004 · 被引用 1 次 — 優點是製程簡單、且蝕刻速率快，因為利用. 化學反應來進行薄膜的去除，化學反應沒有特定的方向性，所以會產. 生等向性蝕刻(Isotropic)如圖1-1，造成不正確圖案的轉移，當元.

2019年7月9日 — 或是如果是問他們知不知道比較細的製程了話，可以用“process,所以說“How much do you know about the etching process? 蝕刻英文應該是etching但是我