真空儀器測漏實務

氦氣測漏儀實際上就.是一簡單的質譜儀,是由抽氣系統(pumpingsystem)、電子控制系統與質譜管(massspectrometertube)等三大部份所組合而成,如圖7為典型的氦.氣測漏 ...

真空儀器測漏實務

氦氣測漏儀實際上就. 是一簡單的質譜儀,是由抽氣系統(pumping system)、電子控制系統與質譜管(mass spectrometer tube) 等三大部份所組合而成,如圖7 為典型的氦. 氣測漏 ...

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