微振動量測 | 私立大學五星教授網

什麼是VC -Curve 為了解決微振動的問題，人們開始想要制定一套通用的標準，VC-Curve因此出現，VC-C振動曲線是由Eric Ungar 和Colin Gordon 在1980 年代初期開發的。

因此透過微振量測，可以了解設備的VC Curve 等級，並以此資. 訊進行改善（可能透過被動或主動隔振系統），提升產品良率及檢測. 效率。 有越來越多半導體設備商，如光學檢測 ...

VC-C. 12.5 (54dB). 1. 適用於解折為1 微米線寬之平板印刷機和. 檢驗機與大部分光電廠精密設備。 VC-D. 6. (48dB). 0.3. 適用於TEMs、SEMs 等高要求之電子顯微.

透過Colin Gordon通用振動標準曲線(Generic Vibration Criterion Curves)，簡稱VC曲線，可建立環境的微振動分級制度，作為環境微振動改善之依據。 VC_001. 2、通用振動標準 ...

由 蔡尚諺 著作 · 2005 — ... VC-A~VC-C 之間；車速為3m/s. 時，不同車重所造成之尖峰振動分貝值介於VC-B~VC-C 之間；車速為6m/s. 時，不同車重所造成之尖峰振動分貝值介於VC-B~VC-C 之間。 圖3.28 為 ...

求,提出一個比較廣泛的振動等級圖表(VC. Specification)。以下為振動等級圖表(VC ... VC-C. 12.5. 1-3. VC-D. 0.007. 0.005. VC-E. VC-D. 6. 0.1-1. 0.003. 0.002. VC-F. VC- ...

微振分析可從時域轉換進行頻域分析，將振動量與BBN振動規格(Colin G. Gordon)進行 ... VC-C, 500, 12.5, 54, 1, 此準則為1μm製程的光學檢測設備和黃光製程設備的良好準則標準 ...

3.5 μm p-p. 例如: 某 設備振動規範以振動速度值為依據. 0.6~1.00 Hz, 0.9 μm/s(RMS). 1.0~ 625.Hz, 19. μm/s(RMS). 例如: 某 設備振動規範以一般科技廠微振動規範VC-C為 ...