Chapter 6 測漏技術與清潔方法第一節真空系統的漏氣 ...

漏氣的定義為氣體由真空系統的外部經由漏氣的途徑進入.真空系統的內部即為漏氣.據此定義則任何真空系統均有漏氣.實際應用時並不以此定義來決定真空系統有無漏 ...

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