半導體用矽晶圓材料發展概況

2022年8月17日—而今大家提及之磊晶矽晶圓片(EpitaxialWafer),主要是指在一拋光晶圓片,亦稱為基板(Substrate),所長出的一層單結晶薄膜,而這層薄膜會在某個平面上進行 ...

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