EP022.漏率是什麼?真空漏率怎麼計算?

1.名詞解釋:率是指以每單位時間之某物來量度另一某物(或事)之大小、數量或程度2.漏率單位:mTorr/min.(1分鐘壓力的變化量(CM1讀值變化量)3.

EP022.漏率是什麼?真空漏率怎麼計算?

1. 名詞解釋: 率是指以每單位時間之某物來量度另一某物(或事)之大小、數量或程度2. 漏率單位:mTorr/min. (1分鐘壓力的變化量(CM1讀值變化量)3.

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