靶材是薄膜濺鍍製程之必備材料,其生產方式依照材料的性質可分為金屬與非金屬兩大類,而金屬靶則是透過澆鑄取得靶材的粗胚,再以多道次輥軋或鍛造的方式消除靶材的空孔 ...
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