大面積大氣電漿改善輪磨加工後碳化矽晶圓翹曲量的先期研究 | 私立大學五星教授網

使用漢鼎超音波，高頻率的微振動幫助降低切削阻力。針對硬脆材料微鑽孔加工，提供刀具Z軸方向高頻率微振動敲碎材料。除了更容易移除材料之外，也更好排屑，有效減小1.5倍的 ...

針對碳化矽（Silicon Carbide，SiC）的超音波輔助研磨加工測試，目標為透過超音波輔助加工機制，縮短整體製程時間，減少刀具磨耗，同時維持良好工件品質。

摘要：碳化矽雖具有優異材料物理特性，目前為繼矽晶圓材料之後，被注目看好之替代材料。但其. 材料堅硬(達莫氏硬度9.25~9.5)加工耗時成為產能上之瓶頸，導致成本居高 ...

SIC加工. 申玥科技所代理的SIC陶瓷產品，具有高耐磨性、高硬度、耐強酸強鹼、且因其為高溫燒結而成，可耐溫度達1300～1500度，表面可做鏡面拋光處理，使化學製程中表面 ...

然而，眾所周知，碳化矽因其超硬、脆性和熱化學穩定性的固有特性而難以進行高效和平滑的加工。再者，因應SiC晶圓尺寸的放大，具有高材料移除效率的輪磨製程逐漸成為加工的 ...

本發明提供一種碳化矽晶片的定位邊加工方法，可提升良率。 本發明的碳化矽晶片具有第一平口與第二平口。第一平口的兩端與碳化矽晶片的邊緣銜接處分別為第一R角，且第一R角 ...

2023年10月13日 — SiC碳化矽PCD鑽石鑽頭 · 1. 螺旋刃設計能有效降低切削阻力, 改善排屑(顆粒粉末)狀況, 大幅提高加工效率與刀具壽命。 · 2. 雙角度鑽尖設計，可防止鑽孔過程中 ...

碳化矽（SiC）精密陶瓷加工碳化矽材料比人工合成氧化鋁，氮化矽材料具有更高的機械強度，特別是在耐高溫，耐磨耗，耐腐蝕方面表現更好。 主要特點： ○ 更優秀的耐磨耗性。

首頁 > 材料別加工例一覧 > 碳化矽. 碳化矽. 碳化矽 高硬度、低膨脹、耐腐蝕性，熱傳導率高，高溫環境下強度仍不改變. 種類多樣，有SSIC、SiSiC、CVD SIC ...