超级详解丨XPS原理、特点，定性、定量、深度剖析和角分辨 ... | 私立大學五星教授網

4. XPS Depth. Profile. (縱深成份分. 析). 藉由控制離子束濺蝕樣品的表. 面，分析來自不同深度的電子訊. 號，而得到元素成份的縱深分佈. 圖。 5. XPS Mapping. (成像分析).

2017年7月3日 — 多層薄膜縱深分析(Depth Profile) : 藉由Ar 離子濺蝕樣品的表面，得到不同深度的元素訊號之縱深分布。 圖譜分析(Mapping) : 分析樣品區域元素訊號，得到 ...

2016年6月30日 — 一般可分析的深度為：. 金屬樣品5－20 Å; 無機化合物10－30 Å; 有機化合物30 ... 離子槍(ion gun) 的XPS 譜儀就可進行縱深分析，測試縱深方向的元素分布 ...

XPS本身纵深方向的采样深度在0.5-10nm之间，为了获得样品表面以下更深的样品信息，就需要对样品进行逐. 层剥离，然后在采集每层表面上的成分信息，. 如图2 中原理所示。

檢測縱深小於10 nm 的表面分析儀器，它除了可被. 用來分析表面與界面的化學組成外 ... 源深度範圍則約為5 Å。藉著調大θ 的角度，XPS. 可以分析極表層的成份，其訊號大小以 ...

2021年9月7日 — ... 深度剖析， 使其从表面分析扩大到一定深度范围。XPS技术被用来进行元素分析、多相研究、化合物结构分析、富集法微量元素分析、元素价态鉴定等，在催化 ...

X-射线光电子能谱（XPS）的深度分析功能，拓展了XPS的应用功能，除了可以表征样品表面分析的成分，也. 可在纵深方向上给出材料中的元素分布状况。具备溅射功能的光电子 ...

2023年9月7日 — XPS還可搭配縱深分析技術，進行氧化或腐蝕層的厚度分析。 另外因為激發源為X光，可以分析的範圍區域較大，特別適合用於樣品大於10微米以上的表面。

... 分析、成像分析、縱深分析及化學態鍵結判定. 之差異分別進行說明。於產業應用方面 ... 其表面分析取樣深度約5mm,可藉. 加在掃描式電子顯微鏡(SEM)所偵測元素由表面分析得 ...