SEM

SEM的主要工作原理為電子鎗透過熱游.離或是場發射原理產生高能電子束,經過電磁透鏡組後,可以將電子束聚焦至試片上,利.用掃瞄線圈偏折電子束,在試片表面上做二度空間 ...

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