化合物半導體之分子束磊晶技術 | 私立大學五星教授網

2001年6月6日 — 一般而言，MOCVD適合生產HBT（異質接面雙載電晶體）元件，而MBE技術則大多生產pHEMT（假型高速電子場效電晶體）元件，目前採用MOCVD生產磊晶的地區主要 ...

2019年3月3日 — 若以量產速率分析MOCVD和MBE磊晶設備的優缺點，MOCVD為氣相方式導入反應腔體，其速度較MBE快1.5倍（MBE需時間加熱形成分子束）；但以磊晶品質來說 ...

2013年6月7日 — 若細分三五族磊晶晶片製造上初分為MBE及MOCVD兩種主流方法，基礎概念上，MBE是透過兩種元素經放射後變為化合物，全球主要供應商為IQE和英特磊；而MOCVD ...

2020年9月13日 — ... MOCVD是將磊晶材料氣化後沈積在基板上，好處是磊晶成長速度快，成本低，壞處是磊晶生長品質控制不易；MBE ... MOCVD量產GaN磊晶，且良率不低，晶成半導體 ...

本計畫主要目標在整合MBE 與MOCVD 技術於成長高可靠度、高功率放大器異質磊晶結構，並進一步改良磊晶結構提升放大器之線性度及操作頻率。為了配合子計畫(二)之應用在不同 ...

由 陳維鈞 著作 — 本研究中使用的磊晶方式為電漿輔助化學束磊晶系統，可結合MBE 與. MOCVD 兩者之優點成長InN ，使用三甲基銦與電漿解離之氮原子做為V 族與III 族之來源，而影響InN. 結晶 ...

MBE)、氣態源分子束磊晶(gas source MBE) 以及. 化學束磊晶(chemical beam epitaxy, CBE)。固態源. 分子束磊晶法為重要的三五族化合物半導體研發與生產技術，尤其適於 ...