由李威霖著作·2010—化學銅廢液為IC基板業鍍通孔(PTH)製程中所產生,而其槽液中.內含大量螯合物(EDTA)、甲醛、氫氧化鈉等,其中:EDTA屬六牙基.螯合物質容易與銅離子結合形成EDTA-Cu,因 ...
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