如何選擇適當表面分析儀器，抓出製程汙染缺陷 | 私立大學五星教授網

2021年11月25日 — 元素分析常見英文稱呼為EDS或EDX，它們都代表著元素分析技術。本篇文章帶大家探討EDS/EDX元素分析 ... 表面形貌分析及元素分析應用。

... 分析（和塗層）可能會破壞後續的表面分析; 對原子量較低的元素有較差的靈敏度. 優點. 快速，“初步”成分分析; 多功能、便宜，廣泛適用; 某些樣品定量分析（平坦、拋光和均勻 ...

... 得較佳的空間解析度，且較不會損傷試片表面. 然而，EDS仍具有以下幾項明顯的缺點：. 能量解析度差; 定量分析能力較差; 對輕元素的偵測能力較差; 偵測極限及解析度較差 ...

2023年9月7日 — 結合SEM與EDS分析技術允許我們以非常高的放大倍率觀察樣品表面的微觀特徵，並且了解樣品的元素組成。 讓SEM表面分析觀察進行更順暢──樣品前製備處理.

... 表面，吸收訊號 ... SEM能對樣品表面和剖面(Micro Section)結構進行放大觀察，特別是失效樣品的微觀分析，同時對樣品表面進行EDS元素分析，可加速?清失效現象的可能原因。

2018年8月29日 — ... EDS做快速的成分分析，然而EDS偵測訊號是來自樣品較「底部」的X光反射，較無法測到樣品「表面」汙染訊號。因此不建議用EDS進行表面為汙染分析。 大於 ...

与AES 和XPS 相比,EDS 有诸多优点,如测试方便、不损坏试样、分析速度快；但缺点是分辨率和定量分析准确度不够高,这主要是由于大的加速电压和束流导致大的分析面积和表面 ...

2018年9月7日 — ... 分析尋找製程汙染缺陷，然而EDS偵測訊號是來自樣品較「底部」的X光反射，較無法測到樣品「表面」汙染訊號。因此不建議用EDS進行表面為汙染分析。大於 ...

由 孟憲輝 著作 — 此外SEM/EDS 尚有下述優點：樣品前處理簡便迅. 速，可利用背向散射電子影像模式快速搜尋高原子. 序分析標的，X 射線成像技術(X-ray mapping) 可. 分析微量證物之元素分布， ...

2020年4月29日 — EDX/EDS可以提供直徑小到奈米(nm)尺寸區域的元素分析。 EDX/EDS使用X-Ray電子束對樣品撞擊以產生樣品元素的特性頻譜，達到單點的元素成分測定目的。