高科技半導體廠結構設計之關鍵考量 | 私立大學五星教授網

該標准採用一組三分之一倍頻程速度譜的形式，其主要優點之一是振動以均方根速度而不是位移或加速度單位表示。各種研究表明，雖然單個設備可能對不同頻率表現出獨特的位移 ...

因此透過微振量測，可以了解設備的VC Curve 等級，並以此資. 訊進行改善（可能透過被動或主動隔振系統），提升產品良率及檢測. 效率。 有越來越多半導體設備商，如光學檢測 ...

2018年3月11日 — 在有關VC 對振動敏感度或適用設備類型，也有很多資料整理。 若根據公式可以推導出到更高等級如VC-M的值， 但是實務上要高於VC-E已經是在建物結構上 ...

2016年3月30日 — ... 設備供應商」均需要求環境規範(Specification)，而針對不同設備的需求，提出一個比較廣泛的振動等級圖表(VC Specification)。 先進製程不斷的發展與 ...

現今所有的高精密製程或量測設備為了因應環境的影響，針對「振動」. 訂定環境規範(Specification)要求，而針對不同設備的需求，提出. 一個比較廣泛的振動等級圖表(VC ...

3、設備運轉時對背景微振動VC曲線的影響分析：. 可以依據客戶需求，量測設備運轉時 ... ，可作為客戶改善環境微振動等級的依據。 6、依據微振動量測內容項目的不同，可 ...

由 蔡尚諺 著作 · 2005 — 針對不同製程、設備之精密度要求，BBN 規格將樓板的容許振動量. 分為五個等級(VC-A 至VC-E)，其規格與適用對象如表2.4 所示。 Page 25. 11. 第三章AGV 行止導致之無塵室 ...

近年地震災情頻傳，掀起大眾媒體對「耐震宅」的關注。隨之而來的是制震效果、免震設備等討論，「阻尼器」、「制震壁」、「耐震係數」、「抗震等級」，面對這些專有 ...

2019年12月6日 — ... 等級，每一個等級的. 振動容忍值都是以速度為單位（圖4），而且每個較嚴. 格 ... 對於製程設備或是晶片的防震保護，是另一個更. 高層次的技術難題，依照 ...