全光譜反射式膜厚量測儀(Reflectometer)

功能:量測SiO2、Si3N4、Poly-Si、TEOS等可透光薄膜,待測試片大小從破片至6吋.5.重要規格:(1).在同一膜層中,可模擬2種不同的材料混合比例.(2).可模擬膜面之不均勻 ...

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