表面分析是什麼？捕捉半導體製程缺陷必備！ | 私立大學五星教授網

2017年7月3日 — XPS可進行化學態分析(Chemical State Analysis)、縱深分析(Depth Profile)，分析材料表面各種元素分布的化學鏈結，且不受樣品導電性限制。

4. XPS Depth. Profile. (縱深成份分. 析). 藉由控制離子束濺蝕樣品的表. 面，分析來自不同深度的電子訊. 號，而得到元素成份的縱深分佈. 圖。 5. XPS Mapping. (成像分析).

... XPS 具有化學鍵結分析的能力，. 能針對表面的 ... 可得知金屬之表面比例、氧化程度, 表面氧化層厚度可透過非破壞性的. 分析(適用於膜厚小於10nm) 或破壞性的縱深分析估計。

EDS為半定量分析, XPS定量較準確；若分析目的是要看較表層的元素成份，建議可由XPS ... A. 除了做元素成份分析，還可以做縱深分析、化態鍵結、功函數、成分平面分布等 ...

2016年6月30日 — 離子槍(ion gun) 的XPS 譜儀就可進行縱深分析，測試縱深方向的元素分布，離子槍的目的是做縱深分析或清潔樣品表面，為一種低損害濺擊縱深分析。 參考 ...

可對於物質表面進行定性及定量的化學分析，可得知相關元素鍵結狀態訊息和百分比的含量，基本功能有全能譜圖、單元素能譜圖、元素線掃描、元素影像掃描、縱深分析、角解析。

能量分析儀採180°半球能量分析器，平均半徑150 mm。 ARXPS (角度解析功能)。 Zalar rotation depth profiling (迴旋式縱深分析)。 主要附件： AES：Auger Electron ...

2023年9月7日 — XPS還可搭配縱深分析技術，進行氧化或腐蝕層的厚度分析。 另外因為激發源為X光，可以分析的範圍區域較大，特別適合用於樣品大於10微米以上的表面。

XPS 的檢. 測縱深小於10 nm，我們利用非彈性碰撞自由行程. 的觀念來解釋XPS 為甚麼是一種表面靈敏的分析. 工具。它除了可被用來分析表面與界面的化學組成. 外，亦可估量超 ...