主要產品為晶片製造相關類產品,例如原子層沉積、物理氣相沉積、化學氣相沉積、電鍍、侵蝕、離子注入、快速熱處理、化學機械拋光、測量學和矽片檢測等,並包含配套的軟體、 ...
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