CMOS

本研究利用TSMC0.35μm2P4MCMOS-MEMS製程開發電容式超音波換能器(CapacitanceMicromachinedUltrasonicTransducer,簡稱CMUT),由於元件不耐高壓、介電層的充電 ...

CMOS

本研究利用TSMC 0.35μm 2P4M CMOS-MEMS製程開發電容式超音波換能器(Capacitance Micromachined Ultrasonic Transducer ,簡稱CMUT),由於元件不耐高壓、介電層的充電 ...

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