無塵室依等級的不同,對一定空間內的微塵粒子最大容許量亦有一定規範,在國際標準中最常用的規範有Fed-Std-209E及ISO-14644,在定義無塵室等級時可參考這兩份標準。
無塵室依等級的不同,對一定空間內的微塵粒子最大容許量亦有一定規範,在國際標準中最常用的規範有Fed-Std-209E 及ISO-14644, 在定義無塵室等級時可參考這兩份標準。相關分類資訊
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