光阻劑 | 私立大學五星教授網

如248nm光阻劑常用聚對羥基苯乙烯及其衍生物為光阻劑主體材料，193nm光阻劑為聚酯環族丙烯酸酯及其共聚物，EUV光阻劑常用聚酯衍生物和分子玻璃單組分材料等為主體材料。除 ...

2023年4月5日 — G-line/I-line光阻劑的主要組成為酚醛樹脂(Novolac Resin)與感光物重氮萘(Diazo-naphtho-quinon; DNQ)。酚醛樹脂在鹼性顯影劑水溶液中相對容易溶解，但當 ...

光阻成分. • 高分子. • 溶劑. 1. 溶解高分子. 2. 允許光阻藉由旋轉塗佈而成. 薄層以進行應用. • 感光劑. 1. 決定曝光時間及強度. 2. 添加劑. Page 3. 5. 負光阻. • 大部分 ...

光阻劑應用的配方成分20 多年以來，SACHEM 一直是用於電子應用的顯影劑電子配方成分的領先供應商。大部分顯影劑已使用四甲基氫氧化銨(TMAH) 和四丁基氫氧化銨(TBAH) ...

2020年8月26日 — 光阻劑(Photoresist)是一種光敏感材料，由樹脂、光敏感劑、溶劑和添加劑等組成，根據曝光顯影後的變化，分為正型(Positive type)光阻劑和負型(Negative ...

彩色光阻是在色材裡添加樹脂與溶劑等製成色膏，再添加光聚合引發劑與各種添加劑，幫助由紫外線引起的聚合反應。 彩色光阻的成分與功能. Ingredients of Color Resist ...

本發明之光阻劑組成物因包含具親水性之樹脂與親水性之單體，可使光阻層之受照射部分與未受照射部分於純水中溶解速率產生極大差異，於微影製程中，可使用純水將易溶之部分 ...