光電半導體主動元件與被動元件的製程技術

本文介紹了光電半導體主動及被動元件的核心.製造技術,包含了薄膜沈積、黃光室微影製程、乾.濕蝕刻製程和光柵製作等。也以應用於光通訊系統.的DFB雷射及平面波導電路為 ...

光電半導體主動元件與被動元件的製程技術

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