有機金屬氣相磊晶系統及技術簡介 | 私立大學五星教授網

磊晶（英語：Epitaxy），是指一種用於半導體元件製造過程中，在原有晶片上長出新結晶以製成新半導體層的技術。此技術又稱磊晶成長（Epitaxial Growth），或指以磊晶 ...

本技術為公司自有開發，已申請多國專利保護，目前已提供量產服務，可提供100V~600V8吋GaN/Si的磊晶晶圓。

磊晶用於在半導體製造中創造完美的矽晶體基底層，以便在晶體基底層上建構半導體元件、沉積具電性的晶體薄膜，或改變底層的機械特性以改善導電性。

磊晶. • 希臘字源. • epi: 往上. • taxy: 有次序的, 排列的. • 磊晶層為一生長在單晶基片上單晶層. → 基片和上層間存在一特定之晶體關係. 100}. 100}. 18. 磊晶應用: ...

2022年1月3日 — 磊晶是指透過在原有的基板上，長出薄薄一層結晶，以達到強化工作效能的目標。通常在磊晶過程中，會經過2個步驟：先在基板表面沉積化學物質，而後才會在 ...

矽磊晶 · 碳化矽磊晶 · 氮化鎵磊晶. 矽磊晶. 嘉晶提供100~200mm的磊晶矽晶圓產品。 由基板 ... Epi Thickness, Epi Resistivity. Single Wafer, 125 – 200 mm, 0.5 – 120 μm ...

拋光後晶圓在磊晶爐中加熱至1,200℃左右，爐內加入三氯矽烷(SiHCl3)的氣體，在晶圓表面利用氣相成長法長出單結晶矽薄膜。 磊晶晶圓是一種可以對應需要結晶完全性或不同 ...

Epi-字首意為「在…上面」；taxy 意為相似之. 物。中文的磊晶一詞意為：堆疊結晶體。所以無論. 從字意上或是字形上，epitaxy 翻譯成「磊晶」，實. 在非常貼切。因為有機 ...

磊晶（英語：Epitaxy），是指一種用於半導體器件製造過程中，在原有晶片上長出新結晶以製成新半導體層的技術。此技術又稱外延成長（Epitaxial Growth），或指以外延 ...