UL6000 Fab 系列 | 私立大學五星教授網

圖5.2 各種測漏製程與裝置的洩漏率範圍. 標準氦氣洩漏率. 明確定義洩漏率所需的條件包括，第一，隔板兩側主要壓力的規格，第二，通過該隔板的介質特性(黏度) 或其莫耳質量 ...

腔體自動靜態升壓測漏模式( ROR leak check mode) : 腔體接受指令後自動執行ROR 靜態壓升測漏， 以確認腔體是否有外氣洩漏之狀態。 維修模式( Maintenance mode) ...

... 率為. 在未達到壓力平衡前，待測真空系統的壓力變化率為 dp/dt，包覆罩內的氦氣漏入待測真空系統的漏氣率為Qt，. 幫浦所抽氣體的氣流通量Q=S‧p，真空系統的壓力為p ...

漏氣率通常以漏氣孔漏入氣體的氣流通量來表. 示，其單位為托耳－公升秒(Torr．L/s) ... 兩種，毛細管式標準漏氣管之漏氣率可從10–3 至. 10–7 Std cc/s，滲透管式標準漏氣管 ...

Rate of rise ROR(. Rate of rise ROR(漏率). 1.按下鍵盤/顯示器上的regen 鍵,顯示器會顯示目前的狀態. 顯示器會顯示目前的狀態. 顯示器會顯示目前的狀態. 2. 連續按next ...

ROR：压升率，表征腔室漏率的一个参数，是反映真空设备保持真空的能力，越小越好。 BOM：物料清单（Bill of Material，BOM），采用计算机辅助企业生产管理，首先要使 ...

通过测量上升率（RoR），半导体和真空设备在运行过程中受到持续监控。 ... 特殊的多进口涡轮分子泵可以在所有压力下提供最佳氦气泵速和高氦气压缩率，从而提供卓越灵敏度、 ...

... 率。 一般而言，確保真空腔體(Chamber)的真空是否有漏，除了可用氦氣測漏儀或以真空計去量測真空壓力上升的情況(ROR) 。但上述兩種方式都無法在製程過程中即時監控洩漏 ...

2008年11月19日 — 检查低温泵的粗抽压力, 测试低温泵的压力回升( ROR) , 如果粗抽压力过高或压力回升率过高,则表明低温泵可能有真空泄漏, 需要使用氦气检漏仪进行真空测漏。

滲漏是技術系統中的小縫隙，導致不必要的氣體進入或排出。滲漏率量化了在特定壓差之下每個時間單位內通過滲漏處的氣體量，用以顯示滲漏的大小。