微振動對於半導體廠的影響及微振等級介紹 | 私立大學五星教授網

該標准採用一組三分之一倍頻程速度譜的形式，其主要優點之一是振動以均方根速度而不是位移或加速度單位表示。各種研究表明，雖然單個設備可能對不同頻率表現出獨特的位移 ...

因此透過微振量測，可以了解設備的VC Curve 等級，並以此資. 訊進行改善（可能透過被動或主動隔振系統），提升產品良率及檢測. 效率。 有越來越多半導體設備商，如光學檢測 ...

透過Colin Gordon通用振動標準曲線(Generic Vibration Criterion Curves)，簡稱VC曲線，可建立環境的微振動分級制度，作為環境微振動改善之依據。 VC_001. 2、通用振動標準 ...

The VC curves are now widely accepted throughout the world as a basis for designing a facility to meet the requirements of a group of highly vibration sensitive ...

微振標準曲線Vibration Criterion（VC-Curve） · Sensitivity: (±5%) 10.0 V/g (1.02 V/(m/s²)) · Broadband Resolution: 0.000001 g rms (0.000009 m/s² rms) ...

VC curve evaluation is an extension of the ISO vibration criterion for the human body (ISO 2631,. Evaluation of human exposure to whole-body vibration [5-6]) ...

由 蔡尚諺 著作 · 2005 — ... VC-A~VC-C 之間。 圖3.29 為跨徑19.2m，在不同車重下對樓版所產生之振動反應比. 較 ... Criterion. Curve. Max Level(1) micro-inches/sec. (Db). Detail. Size(2) microns.

2020年8月21日 — To develop the vibration criteria (VC) curves, vibrations are measured in the vertical and two horizontal directions. Vibration can be expressed ...