MOCVD對鍍膜成分、晶相等品質容易控制,可在形狀複雜的基材、襯底、上形成均勻鍍膜,結構密緻,附著力良好之優點,因此MOCVD已經成為工業界主要的鍍膜技術。晶圓可放 ...
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