分子束磊晶成長系統簡介 | 私立大學五星教授網

在固體源的分子束磊晶過程中，諸如鎵、砷的元素，會以超純（ultra-pure）的形式在獨立的石英克努森容器（Knudsen Cell）中被加熱，直到它們開始緩慢昇華。然後，這些氣態 ...

其工作原理是利. 用蒸鍍物質沉積於石英晶體時造成質量的變化，因. 而改變了石英振盪器的振動頻率dν。由以下之關. 係式可得出蒸鍍物質的厚度：. 其中ρf 為蒸鍍物之密度，ρ ...

取代，便稱為化學束磊晶或有機金屬分子束磊晶. (MOMBE)。由於有機金屬含碳，其化學束一般未. 經裂解便直接射入基板，靠基板的溫度裂解脫去有. 機基以形成磊晶薄膜。因此這 ...

而最早利用. 發射室(Effusion Cell)中產生原子分子束在NaCl上磊. 晶生長PbS大概是分子磊晶的開始。早期成長V-VI. 族化合物薄膜成功的因素,大體可歸因於使用合適的. 基底 ...

科學家將單晶薄膜稱為「磊晶(Epitaxy)」，必須在非常嚴格的條件下才能成長出來，目前在實驗室用來成長磊晶最簡單的方法就是使用「分子束磊晶(MBE：Molecular Beam ...

技術原理. 真空抽氣技術 · 真空量測技術 · 真空鍍膜技術 ... 俊尚科技代理SVT Associate 的各款分子束磊晶系統所使用 ... 這類蒸發源非常適用於分子束磊晶和一般物理氣相沉積 ...

2016年10月9日 — 分子束磊晶的基板通常是以柴氏拉晶法(CZ法)成長好的砷化鎵晶圓，當氣體原子在砷化鎵晶圓的表面凝固時，會隨著砷化鎵晶圓的原子排列形成單晶薄膜(磊晶)。