真空殘氣及釋氣(RGA)量測設備 | 私立大學五星教授網

腔體自動靜態升壓測漏模式( ROR leak check mode) : 腔體接受指令後自動執行ROR 靜態壓升測漏， 以確認腔體是否有外氣洩漏之狀態。 維修模式( Maintenance mode) : 系統 ...

... 測漏儀的偵測下限。由於許多固體的網格常數為幾Å，較小分子與原子(H2、He) 的直徑約為1 Å，因此，可以使用氦氣測漏儀計量記錄固體的滲透。這讓我們開發了洩漏率非常小 ...

漏氣的定義為氣體由真空系統的外部經由漏氣的途徑進入. 真空系統的內部即為漏氣. 據此定義則任何真空系統均有漏氣. 實際應用時並不以此定義來決定真空系統有無漏 ...

在氦气测漏检测的过程中，先将传递腔体抽到真空，再连接氦气测漏仪，从传递腔体外部使用氦气进行检测。另外，还可以使用设备工作站内的功能进行保压测漏ROR(RISE OF RATE) ...

本文介紹真空測漏概念，從洩漏判定、洩. 漏定量檢測至堵漏實務，尤其強調靈敏度最高、最為廣泛應用的非破壞性測漏儀器－氦氣測. 漏儀之操作實務，希望對儀器設備之架設與 ...

氦氣質譜測漏儀. 優點：. 1.目前氦質譜測漏儀靈敏度還是最高的，其可用於高度真空. 的測漏(微漏). 2.可以準確地標示出漏處. 3.可將漏氣量量化(即算出漏率). 4.測漏所需時間 ...

Rate of rise ROR cycles (. Rate of rise ROR cycles (測漏次數). 1.按下鍵盤/顯示器上的regen 鍵,顯示器會顯示目前的狀態. 顯示器會顯示目前的狀態. 顯示器會顯示目前的 ...

追踪氣體(Tracer Gas)被噴在測試點上,若此測. 試點有漏(Leak),則追踪氣體將通過此漏點,而被測. 漏儀測出追踪氣體量,進而判定漏率的大小,達到測. 漏的目的。 而氦氣是最被 ...

基於一些原因，氦氣是適用於測漏的理想測試氣體。空氣中氦氣的濃度較低，在大氣中僅為約5ppm，這表示其擁有非常小的背景。氦氣是除了氫氣以外最小的氣體原子。