低介電常數材料於積體電路 | 私立大學五星教授網

介電質的電傳導能力很低，再加上具備有很好的介電強度（dielectric strength）性質，就可以用來製造電絕緣體。另外介電質可被高度電極化，是優良的電容器材料。對於介電 ...

閘極介電層是一種用在場效電晶體的閘道與基底上的介電質。以目前的科技水平，閘極介電層有許多的限制，如： ... 電容和厚度的限制幾乎是相對的。對矽基場效電晶體來說，閘極 ...

2008年6月20日 — High k能減少閘極漏往基極的電流，可節省晶片的功耗用電，使晶片更省電運作。 High k材質既然能提供更佳的絕緣性，那麼SOI的絕緣層也可以使用，將二氧化矽 ...

2017年8月13日 — ➤介電常數小(Low K)的絕緣材料：代表這種絕緣材料不容易儲存電子與電洞，所以適合用來製作積體電路(IC)內多層導線之間的「絕緣層」，這樣電子才可以在 ...

2021年7月9日 — 對於時變電磁場，物質的介電常數和頻率相關，通常稱為介電係數。介電常數又叫介質常數、介電係數或電容率，它是表示絕緣能力特性的一個係數，以字母ε表示 ...

側壁空間層. WCVD. TiN. CVD. ARC: 反射層鍍膜; IMD: 金屬層間介電質層; PMD: 金屬沈積前的介電質層;. STI: 淺溝槽絕緣; LDD: 低摻雜汲極; ILD:金屬層間介電質層. Page 2 ...

製程在介電絕緣層中定義出線槽. (Trench)及介層窗(Vias)。由於銅原子. 具有高的擴散性，通常需要在銅金屬. 層與介電絕緣層中加上一層金屬阻障. 層（一般使用氮化鉭(TaN)） ...

感光性介電絕緣材 · 濕製程用高純度特用化學品 · 奈米微影 ... 感光性介電絕緣材. 應用. 適用於晶圓級(WLP)/ 面板級 ... 層(Stress Buffer Coating)。可低溫固化、具極佳的銅 ...

在論文中，我們研究了鈦摻雜至高介電係數材料內，也就是五氧化鈦二鉺和五氧化鈦二釓來取代傳統二氧化矽氧化層，並且在未來應用於薄膜電晶體以及記憶體等等的技術上。