微振動對半導體製程與量測設備的影響 | 私立大學五星教授網

何謂微振動?微振動的定義泛指頻率在2~100 Hz，振幅在50 μm/s以下之振動量。無論是廠區內部樓板的強度、設備本身的運轉、或廠房其他設備的影響、廠房內的噪音等，都會成為 ...

微振動的定義泛指頻率在2~100 Hz，振幅在50 μm/s以下之振動量。無論是廠區內部樓板的強度、設備本身的運轉、或廠房其他設備的影響、廠房內的噪音等，都會成為振動的 ...

微振動的定義，廣義的來說是頻率在2~100 Hz，振幅在50 μm/s. 以下之振動量。無論是廠區內部樓板的強度、設備本身的運轉，或廠. 房其他設備的影響、人員及機具的移動，廠房 ...

微振動量測 · 可以依據客戶需求，量測設備運轉時對背景微振動的影響，並繪製相關VC曲線，方便客戶比對差異性 · 可以依據客戶需求，量測長期或短期的環境微振動VC曲線變動 ...

微振分析可從時域轉換進行頻域分析，將振動量與BBN振動規格(Colin G. Gordon)進行比較，俾便瞭解樓板之振動情況。 準則曲線, 最高級別, 振幅, 說明使用. 微英寸/秒, 微米/ ...

微振動量測屬精密動態量測的範圍，對於量測設備的要求高於一般環境振動 量測設備的需求。資料記錄器與感應器之動態範圍選擇與頻率範圍選擇直接影響量測結果，量測參數設定 ...

2016年3月30日 — 何謂微振動？微振動的定義泛指頻率在2~100 Hz，振幅在50 μm/s以下之振動量。無論是廠區內部樓板的強度、設備本身的運轉、或廠房其他設備的影響、廠房內的 ...

微振動的定義泛指頻率在2~100 Hz，振幅在50 μm/s以下之振動量。無論是廠區內部 ... 而廠區外的影響則包括外部交通工具、附近 廠房的施工、地震等，也都是微振動的來源。