非晶矽薄膜電晶體液晶顯示器製造

目前使用在TFT-LCDarrayprocess微影製程的.塗覆(coating)光阻方式分成狹縫塗覆後加上旋轉.(slitandspin)及單獨旋轉式(spin)兩種。Slitandspin:先用slit ...

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