薄膜厚度測量 | 私立大學五星教授網

光學膜厚量測原理比較 · 反射分光膜厚量測. 反射分光法也稱為光干涉法，搭載光譜儀的反射架構下，由反射率進一步求得光學膜厚。主要利用上圖R1(膜層表面的反射)以及R2(膜層 ...

其他膜層，則可以考慮使用光學式即可，並依照量測膜種類不同，厚度橫跨nm~μm等級。 渦電流：渦電流利用電磁感應的原理，是塗層越厚電磁感應力越小，使用上還是要注意校正的 ...

當薄膜的厚度是其入射光源的1/4波長的奇數倍時，則來自兩道表面的反射光波會彼此干擾而相互抵消；而當厚度是光的1/2波長的倍數時，則這兩道反射光波會相互加強。因此，當由 ...

當一個入射光從空氣穿透進入不同折射率的物質時，在其界面處將會有部分的光被反射，由於光的波動性導致從多個介面處的反射光彼此干涉，而使反射光的多波長光譜產生震盪的 ...

薄膜量測方法是利用光穿過介質會產生相位差，及於介面上會產生反射及穿透之特性，由薄膜. 兩個界面的光能量產生干涉的現象如圖一所示，可取得反射及穿透光譜如圖二所示，將 ...

不過請注意，這僅在薄膜厚度介於約0.3 到60 μm 範圍內可行，且需要薄膜材質的折射率以進行測量。 首先我將說明薄膜厚度測量相對於反射測量的原理。光以特定角度撞擊薄膜 ...

一般來說，利用光的干涉的位移計中，測得的值除以折射率可以得出實際厚度。 共焦原理的位移計中，測得的值乘以折射率可以得出幾乎等同於實際厚度的值，但嚴格 ...