【光學膜厚量測】『顯微分光法』與『橢圓偏光法』有什麼不同?

光學式的膜厚量測有不會接觸膜面,以及可以得知光學...2.高分子底材有光學異方性,以橢圓偏光在不同的方向入射時會得到不同的厚度,樣品只要稍微旋轉就會得到不同結果。

【光學膜厚量測】『顯微分光法』與『橢圓偏光法』有什麼不同?

光學式的膜厚量測有不會接觸膜面,以及可以得知光學 ... 2.高分子底材有光學異方性,以橢圓偏光在不同的方向入射時會得到不同的厚度,樣品只要稍微旋轉就會得到不同結果。

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