微振動對於半導體廠的影響及微振等級介紹

《每月專題/廠房振動監測》.晶圓廠的微振動規範.晶圓廠內的設備,除了一些由設備廠商所訂出特別的微振動規範.外,大部分皆是採用VC-Curve作為機器設備的微振動規範 ...

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