MEMS压电超声换能器CMUT&PMUT以及生产工艺 | 私立大學五星教授網

2023年6月27日 — 图4 超声接收原理图. 3.1 CMUT 换能器制备工艺过程. 根据确定的 CMUT 参数，对换能器进行制备。 1)准备氧化层厚度为 500nm 的氧化片(低阻硅) 和器件层 ...

本研究涵蓋電容式超音波微換能器(Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer，cMUT)設計原理和公式推導，分析機電耦合特性及等效電路模型，設計參數化模擬分析 ...

2018年4月18日 — 超音波感測裝置的原理主要是藉由偵測發出及接收脈衝訊號的時間差，得到聲波達到待測物間的時間再乘上聲速，即可得知與物件之間的距離。目前在一公尺的範圍 ...

2023年7月8日 — CMUT 换能器是由多层结构和多层材料构成。CMUT电容单元结构如图2 所示，从上到下依次为金属铝上电极氧化硅电气隔离层、绝缘体上硅( ...

與雷達、聲納類似，超聲換能器多用於利用回波信號評估目標物體的系統，通過測量超聲信號收發的時間間隔，可以確定目標物體與換能器間的距離。被動式超聲傳感器實際上就是 ...

... CMUT等效电路模型、机电耦合系数、CMUT寄生电容、充电现象对性能的影响规律，CMUT阵列噪声消除、CMUT结构及阵列的性能优化设计以及后续电路检测原理和设计方法等。 图1 ...

CMUT换能器是具有电极的微小膜片状的器件，其将所接收的超声信号的声音振动转换为调制电容。为了传输，对施加到电极的电容电荷进行调制以振动该器件的膜片并且从而传输声波 ...

2023年7月25日 — ... CMUT工作原理与阻抗匹配理论设计了匹配电路，实现信号源端到CMUT的最大功率传递，以此提升CMUT的声发射性能，为CMUT的实际应用提供解决方案。相关研究 ...