膜厚計

分光干涉式膜厚計...向量測目標照射寬波長頻帶的光,對表面和背面反射的光的干涉強度光譜進行FFT分析,從而量測膜厚。用量測結果除以量測目標的折射率求出膜厚。光源有SLD ...

膜厚計

分光干涉式膜厚計 ... 向量測目標照射寬波長頻帶的光,對表面和背面反射的光的干涉強度光譜進行FFT分析,從而量測膜厚。用量測結果除以量測目標的折射率求出膜厚。 光源有SLD ...

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