微振動對於半導體廠的影響及微振等級介紹 | 私立大學五星教授網

什麼是VC -Curve 為了解決微振動的問題，人們開始想要制定一套通用的標準，VC-Curve因此出現，VC-C振動曲線是由Eric Ungar 和Colin Gordon 在1980 年代初期開發的。

因此透過微振量測，可以了解設備的VC Curve 等級，並以此資. 訊進行改善（可能透過被動或主動隔振系統），提升產品良率及檢測. 效率。 有越來越多半導體設備商，如光學 ...

透過Colin Gordon通用振動標準曲線(Generic Vibration Criterion Curves)，簡稱VC ... ，可作為客戶改善環境微振動等級的依據。 6、依據微振動量測內容項目的不同，可 ...

一個比較廣泛的振動等級圖表(VC Specification)。 1. 工廠. 辦公室. 住宅. 手術室. VC-A. VC-B. VC-C. VC-D. VC-E. VC-F. VC-G. 2. 3. 4. 5. 6. 7. 8 9 10. 20. 30.

2016年3月30日 — 振動等級圖表(VC Specification)。 何謂微振動？微振動的定義泛指 ... 等級圖表(VC Specification)。 先進製程不斷的發展與提升，是現在世界各 ...

求,提出一個比較廣泛的振動等級圖表(VC. Specification)。以下為振動等級圖表(VC. Specification):. Velocity,mm/s (ms). 10. 976 3 N. 振動. 最大振動量製程尺寸. 規範 um ...

利用VC-Curve等級規範來規劃安置精密儀器設備，避免因為環境微振動造成設備表現 ... 定期維護設備：定期檢查設備狀態和維護隔振裝置和其他防震設施，以避免因為 ...

目前對於環境微振動之要求準則，大都以Gordon所提之VC-E等五個等級。 振動有大小不同之分別，微小振動只有靠振動量測儀器才可以量測的到，特別是高科技產業對於振動的 ...