【光學膜厚量測】『顯微分光法』與『橢圓偏光法』有什麼不同? | 私立大學五星教授網

基本原理. 編輯. 此技術係在測量光在入射樣品時，其反射光偏振性質與入射光偏振性質的改變。通常，橢圓偏振在反射模式下進行。偏振性質的改變主要是由樣品的性質，如 ...

橢圓偏光術是一種非接觸式、非破壞性，以光學技術量測表面薄膜特性的方法。當一束偏極光經過物體表面或界面時，其極化狀態會被改變。而橢圓儀就是藉由偵測樣品表面的 ...

光學膜厚量測原理比較 · 反射分光膜厚量測. 反射分光法也稱為光干涉法，搭載光譜儀的反射架構下，由反射率進一步求得光學膜厚。主要利用上圖R1(膜層表面的反射)以及R2(膜層 ...

光譜式橢圓偏光儀（Ellipsometer）主要利用橢圓偏振光，量測透明或半透明之薄膜。此儀器藉由量測偏極光的振幅及相位改變，搭配專屬model擬合，可得知薄膜的膜厚、折射率 ...

由 李振佑 著作 · 2006 — (ellipsometer)。 橢圓儀可說是與干涉儀精密度相當的一種測量儀器，它可測得材. 料的厚度、折射率、吸收率等。根據運作原理的不同，橢圓儀大致可. 分為歸零式橢圓儀 ...

由 趙于飛 著作 — 文中，我已將其基本原理作了. 敘述，在此不再贅述。 在橢圓偏光儀中僅量測兩項參數：Ψ 與∆，其. 定義如下 tan p i s r e r. ∆. Ψ. = 其中rp 及rs 分別代表平行與垂直於 ...

由 鄭彥方 著作 · 2007 — The Ellipsometer is a simple equipment to obtain the optical parameters of measured samples. The polarization angles of incident light and reflected light by ...