微影 | 私立大學五星教授網

光阻劑分為正型光阻及負型光阻，因感光材料特性的關係，顯影結果也會有所差異。 正型光阻其未被光罩覆蓋的光阻區域，在UV照射後，可被顯影液輕易的帶離；反之，若光阻劑在UV照射後，顯影液無法帶離，則為負型光阻劑。

主條目：光阻. 微影製程中採用的感光物質被稱為光阻，主要分為正光阻和負光阻兩種。正光阻未被光照的部分在顯影後會被保留，而負光阻膠被感光的部分在顯影後會被保留。光阻 ...

正光阻. • 經曝光後變可溶. • 經顯影製程，曝. 光部分溶解. • 解析度較佳. Page 2. 3. 光罩/倍縮光罩. 曝光. 經顯影. 負光阻. 紫外光. 正光阻. 基片. 基片. 基片. 光阻. 負 ...

正光阻(斷鍵)：被紫外光照射到的部份產生化學反應，. 使得化學鍵結變鬆散而容易被「顯影液」溶解掉。 • 負光阻(交聯)：被紫外光照射到的部份產生化學反應，.

光阻劑（英語：photoresist），亦稱為光阻或光阻劑，是指經過紫外光、深紫外光、電子束、離子束、X射線等光照或輻射後，溶解度發生變化的耐蝕刻薄膜材料，是微影製程中 ...

對正光阻而言，曝光的部分產生光化學反應，使曝光部分與沒曝光部分於顯影液中的溶解度不同，而使曝光部分被溶解，沒曝光部分則留存。對負光阻而言則作用相反，將使使曝光 ...

2019年9月29日 — 負光阻劑是最早被應用在光刻工藝上的光阻劑類型，它擁有工藝成本低、產量高等優點。 但是負光阻劑在吸收顯影液後會膨脹，這會導致其解析度不如正光阻劑。

列出組成光阻(photoresist)的四個成分. •敘述正光阻(+PR)和負光阻(−PR)的差異. •敘述微影製程(photolithography)的順序. •列出四種對準(alignment)和曝光(exposure) ...

正光阻與負光阻比較. Page 3. 過程介紹. • 噴圖:利用速度、高度、流速來掌控厚度，. 厚度越厚，烤的時間也相對增加，曝光和. 顯影的時間也是相對增加。 • 軟烤:溫度約在90 ...