高科技產業製程風險控制

圖4磊晶製程流程(李文亮,2009).因製程機台設備主要由反應腔、氣體控制、混合系統及反.應源組成,反應腔是所有氣體混合及發生反應的地方,腔體由.不鏽鋼或是石英 ...

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