越薄越好，3D薄膜製程大挑戰：淺談原子層沈積技術 | 私立大學五星教授網

薄膜技術是目前最流行的表面處理法之一，可應用於裝飾品、餐具、刀具、工具、模具、半導體元件等之表面處理，泛指在各種金屬材料、非金屬材料、超硬合金、陶瓷材料、奈米材料及晶圓基板的表面上，成長一層同質或異質材料薄膜的製程，以期獲得美觀耐磨、耐熱、耐蝕等特性，而加以使用。

薄膜材料是指厚度介於單原子到幾毫米間的薄金屬或有機物層。電子半導體功能器件和光學鍍膜是薄膜技術的主要應用。 一個很為人們熟知的表面技術的應用是家用的鏡子： ...

圖一、成長材料AB的ALD製程循環。 什麼是原子層沈積？ 原子層沈積(Atomic Layer Deposition, ALD) 是一種可以將材料一層一層成長的薄膜製程技術，一般常見的ALD製程由 ...

薄膜材料是指厚度介於單原子到幾毫米間的薄金屬或有機物層。電子半導體功能器件和光學鍍膜是薄膜技術的主要應用。 一個很為人們熟知的表面技術的應用是家用的鏡子： ...

傳統大家對薄膜的認知就是比紙還要薄的塑膠或是其它高分子材料製成的樣品，如: 保鮮膜(PVC、 PE)等等...。 何謂薄膜技術 ... 薄膜製程為一個極為要的關鍵步驟，其主要用途為 ...

2012年8月31日 — 光電與半導體業者會對所使用的材料增加某些特性，而在材料表面進行各種不同實驗來形成被覆薄膜（亦即一層薄膜），若此一被覆薄膜是經由原子層堆疊的過程而 ...

依照客戶需求，提供多種光學技術於同一晶圓以支援多功能設計，並能夠整合有機製程（例如：彩色濾光膜製程和微透鏡製程）及無機製程（即光學薄膜製程）。 光學薄膜技術 ...

2022年7月31日 — ... 薄膜製程，可說是晶圓加工的基礎。當一片片晶圓製造完成後，就會進入加工階段，首先會在晶圓表面鍍上薄膜，依據發光、導電或保護等不同需求，這層薄膜 ...

2007年5月21日 — PVD顧名思義是以物理機制來進行薄膜湚積而不涉及化學反應的製程技術，所謂物理機制是物質的相變化現象，如蒸鍍(Evaporation)，蒸鍍源由固態轉化為氣態，濺 ...

2010年1月26日 — 薄膜製程與 ... 什麼是電漿? 電漿物理化學第六週電漿光譜量測實務第七週電漿光譜量測實務– 如何解析光譜第八週薄膜怎麼長出來? 薄膜生長機制與薄膜製程 ...