熱蒸鍍製程 | 私立大學五星教授網

一.實驗目的:利用電阻器（electric resistor）及坩堝將鍍膜材料(如金屬Cu)加熱並使其蒸發，而達成薄膜沉積的目的，此種方法的特點是在真空條件下透過加熱將熱穩性 ...

三、儀器簡介 · 主要蒸鍍材料以鋰金屬為主，搭配可耐高溫、化學穩定性高的鉭坩堝盛裝鋰錠並使用電阻器加熱進行蒸鍍。 · 應用具壓電效應原理的石英震盪片偵測即時膜厚：在 ...

2016年3月11日 — 利用電流通過電阻時，會產生熱能的原理來對薄膜材料間接加熱。 · 主要作法為選用高熔點材料作為蒸發源，將欲鍍之薄膜材料置於其上，然後加正負電壓於蒸發源 ...

蒸鍍是在高真空狀況下，將所要蒸鍍的材料利用電阻或電子束加. 熱達到熔化溫度，使原子蒸發，到達並附著在基板表面上的一種鍍膜. 技術。 在蒸鍍過程中，基板溫度對蒸鍍薄膜 ...

本專題所進行的是熱蒸鍍機與高溫爐管的實習，除了對機台的製程. 原理了解外，也對機台操作流程有完整的學習，包括仔細的紀錄下每. 一個步驟與操作。 在半導體製程的物理氣 ...

熱蒸發為PVD最簡單的形式之一，其中以電阻式加熱法最為常見的。優點為它們可以提供一種簡單的薄膜沉積方法，主要做法為選用較高的熔點材料做為乘載舟，再將預鍍之材料放置 ...

專利的蒸鍍模組：採用HOPE-08系列專利蒸鍍模組，可有效控制低溫有機材料在極低蒸鍍速率（<0.005A/sec）的穩定性，並可避免材料冷凝塞口。 系統的擴充性高：具備多樣周邊零 ...