電漿製程技術 | 私立大學五星教授網

電漿可以根據其電子溫度、離子溫度和中性粒子溫度的相對比例歸為兩類——高溫電漿和低溫電漿。 在高溫電漿中，電子溫度、離子溫度和中性粒子溫度處於同一水平，即熱平衡；在低溫電漿中，電子溫度較高，而離子溫度和中性粒子溫度則比電子溫度低很多，有時甚至接近室溫。

若依氣體壓力區分，可分為兩種，一為低壓電漿(low pressure plasma, LPP)，即為真空電漿，壓力約為1 mtorr－1 torr；另一為常壓電漿(atmospheric pressure plasma, APP)， ...

電漿為一種帶有等量的正電荷與負電荷的離子化氣體，它是由離子、電子與中性的原子或分子所組成的。電漿被科學家稱為物質的第四狀態，科學家估計宇宙中有近百分之九十九的 ...

2021年3月19日 — 1. 噴射式電漿(plasma jet) · 2. 介電質放電(dielectric barrier discharge，DBD) · 3. 電暈放電(corona discharge) · 4. 電漿炬(plasma torch).

電感偶合式電漿(Inductively-Coupled Plasma,. ICP) 為一結構簡單而應用廣泛之電漿源。ICP 之電漿. 產生與維持，為利用電磁感應產生之電場，加熱電漿. 電子，以應游離反應 ...

電漿基礎原理. 2. 電漿的成分. • 電漿是由中性原子或分子、電子(-）和正電離. 子所構成. 1. 游離率主要決定於電漿中的電子能量. 2. 在大部分的電漿製程反應室中，游離率.

2024年3月29日 — 電漿清洗機主要有四種類型的等離子生成功率供應器選擇，包含：直流輝光放電、kHz、MHz和GHz。而市面上常見的小型等離子清潔系統為kHz和MHz，兩者優 ...

Boltzmann constant k. 1.3807x10-23 J/K. Elementary charge e. 1.6022x10-19 C. Electron mass m. 9.1095x10-31 kg. Proton mass. M. 1.6726x10-27 kg.

2023年4月5日 — 電漿種類依形成之環境來定義，可分為大氣電漿(Atmospheric Plasma; AP) 及低壓真空電漿(Low Pressure Plasma, LP) 兩大類。事實上，大氣電漿是一種新興的 ...