多層膜厚度量測技術

為了評估多層膜厚度量測技術的準確性,我們先以應用軟體模擬出數個三膜層的反射光譜,並.以我們的量測方法計算厚度值。結果顯示厚度誤差小於0.3nm、擬合時間小於0.5秒。

多層膜厚度量測技術

為了評估多層膜厚度量測技術的準確性,我們先以應用軟體模擬出數個三膜層的反射光譜,並. 以我們的量測方法計算厚度值。結果顯示厚度誤差小於0.3 nm、擬合時間小於0.5 秒。

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