二维MEMS光栅引领光学相控阵变革：高速、宽谱、高分辨率 | 私立大學五星教授網

2019年8月29日 — 与传统的硅光、液晶等OPA技术相比，该芯片创新性地将新型光栅结构与硅基MEMS技术相结合，具有更经济、更高速、更高可靠性等优点。此外，该MEMS OPA的光学 ...

本研究是以微機電系統(Micro-Electro-Mechanical System, MEMS)技術配合光學全像干涉微影(Holographic Interference Lithography)技術製作繞射光柵模仁(Diffraction ...

2021年5月18日 — MEMS扫描光栅由各种MEMS致动器构成，以驱动光栅平台扫描整个目标，并且它们在各种扫描系统中都发挥着重要作用。同时，光栅扫描仪的色散特性使它们在包括 ...

塗層材質. ORMOCER®. 纖維直徑（含塗層）. 195 μm. 管子材質. 聚偏二氟乙烯（PVDF）. 管子直徑. 0.9 mm. 接頭類型. FC/APC. MEMS TECHNOLOGY CORP. © 麥思科技有限公司版權 ...

透射光栅是在光学平板上刻划. 出等宽等间距的刻痕, 刻痕处不透光, 未刻. 处是透光的狭缝; 反射光栅是在反射镜上. 刻划一道道划痕组成, 在刻痕上发生漫反. 射, 未刻处在反射 ...

本发明公布一种基于MEMS（微电子机械系统）扫描微镜的微型化红外光谱仪，它是由光纤连接装置，入射狭缝，准直反射镜，扫描微镜，闪耀光栅，球面聚焦反射镜，出射狭缝， ...

2019年8月27日 — MEMS光栅采用了硅微加工工艺技术，在外力作用下使光栅的某些特征参数（如周期、光栅等常数）发生改变，从而实时改变光栅的工作性能，实现光栅的可编程 ...

1.一种可调光学光栅，包含：多个光学光栅结构，它们包含在一个光学传输路线中；以及一种有效地连接到每个光栅结构的微机电(MEMS)激励器，以改变在光栅结构之间的间隔并 ...

台灣超微光學以獨創的微機電光柵晶片與精密光機架構創造出獨有的超微型光譜儀，具備高技術門檻，並且擁有高準確度、超小型、耐摔抗候、與超低成本之優勢。我們已成功自行 ...