莫列波紋於序列型互補式場效電晶體之垂直對準應用探討

由YJYang著作·2024—本篇論文旨在研究序列型互補式場效電晶體(sequentialCFET)方案中垂直堆疊電晶體製程的對準問題,期望發展利用薄膜轉移技術堆疊元件薄膜、完成與下層元件的整合製程。在 ...

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