物理氣相沈積PVD | 私立大學五星教授網

電子束微影（electron beam lithography）指使用電子束在表面上製造圖樣的製程，是微影技術的延伸應用。 微影技術的精度受到光子在波長尺度上的散射影響。 使用的光波長越短，微影能夠達到的精度越高。 根據德布羅意的物質波理論，電子是一種波長極短的波。

電子束加熱(electron beam furnace)或譯電子束爐或簡稱EB爐(EB furnace)、e-Beam爐是一種真空爐（英語：Vacuum furnace），在真空環境下以高能電子束為媒介傳遞熱量給 ...

E-beam結構與操作原理 ... E-gun電子槍金屬蒸鍍系統構造如圖二，是利用電子束來執行蒸鍍源的加熱。利用高壓電使鎢絲線圈產生電子後，利用加速電極將電子引出，再透過偏向磁鐵 ...

電子束（光束）焊接是利用真空管或陰極射線管內部釋放電子的原理的焊接方法。焊接基本在真空環境下進行（高真空型），其特點是可支援從薄板到厚板乃至細微部位的焊接，且 ...

中文名. 电子束 · 拼音. diàn zǐ shù · 外文名. electron beam · 别名. 电子注 · 原理. 电子在电场中会受力而得到加速.

2020年12月30日 — 首頁 > 應用專欄 > 怎麼製作出電子束? how-do-you-make-an-electron-beam-electron-. 怎麼製作出電子束? 2020-12-30. Alex Ilitchev 著. 勀傑團隊譯. 對於 ...

Electron beam lithography is a quick and perfect solution for the fabrication of small amount of prototype nano-scaled structures where frequently changes in ...

中文詞彙. 學術名詞 核能名詞 · electron-beam tube · 電子射柱管. 學術名詞 物理 ... electron-beam tube · 電子束管. 學術名詞 電力工程 · electron-beam tube · 電子束管.

2016年3月11日 — 2.電子束加熱法(Electron Beam Gun Evaporation)：. 電子槍(e-gun)所產生的電子束由於磁場的作用力，而被轉向並集中至蒸鍍材料上。 此電子束是一束高 ...

電子束蒸鍍成長薄膜的過程中沒有化學反應發生，所以屬於物理氣相沉積(PVD)，由於只需要高真空，而且蒸鍍的薄膜可以大量快速地在基板上沉積，成本較低適合工廠大量生產 ...