晶圓薄膜epi

薄膜epi-Si.晶向:<100><111>xyz.<111>.平面.<100>.2.為何是矽?•豐富,便宜.•二氧化矽非常穩定,強介電常數,在熱.製程中容易成長.•大的能隙,寬廣的 ...

晶圓薄膜epi

薄膜epi-Si. 晶向: <100> <111> x y z. <111>. 平面. <100>. 2. 為何是矽? • 豐富,便宜. • 二氧化矽非常穩定,強介電常數,在熱. 製程中容易成長. • 大的能隙,寬廣的 ...

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