〈工業技術與資訊〉半導體完美鍍膜最佳解方 | 私立大學五星教授網

光學鍍膜的實際作業流程簡化如下：基材以超音波洗淨機洗淨，洗淨後排上夾具，送入鍍膜機，開始加熱及抽真空。 達到高真空後，開始鍍膜。 鍍膜時，使用電子槍或電阻式加熱，將鍍膜藥材變成離子態，由於鍍膜機處於高真空狀態，離子鍍膜材料可以順利到達基材。

物理氣相沉積法(Physical Vapor Deposition, PVD)，泛指將固體予以蒸發或昇華並附著在基材表面形成薄膜的製程。 基本上，因成膜的過程中僅牽涉物理變化，故名之。其物理 ...

2023年11月15日 — 此外，傳統製程的枚葉式腔體易因變換製程腔體，導致薄膜氧化，傳統鍍膜製程得更換不同設備，還要反覆進行抽真空和破真空等操作，增加氣體交互污染的機會。

... 鍍膜技術的範例，從原子尺度的磊晶製程、允許特定波長通過或不通過的光學薄膜製程、可提升雷射元件功率的AR/HR複層堆疊製程，乃至於用於保護元件免於水氧穿透的鈍化製程。

2023年11月25日 — 工研院的高效雙模態原子層鍍膜（Head-Matrix ALD+）系統，可支援奈米級薄膜，同時滿足高深寬比、多成分均勻、薄膜精準披覆等先進製程需求，其中最獨特之處 ...

由 潘漢昌 著作 · 被引用 2 次 — (roll-to-roll) 鍍膜製程，即可以進行量產性製作和. 大面積鍍膜，以降低生產成本，最後達到製作使用. 大量的可拋棄式消費性電子產品。相較之下，目前. 以玻璃材料為基板的 ...

UNIVEX 是用於生產功能性物理氣相沉積鍍膜的多功能鍍膜系統。 薄膜的特性取決於用來製作薄膜的製程技術。不同的製程參數會影響薄膜的行為。在我們的UNIVEX 系統中， ...

其半製程是在有底塗的基材上蒸鍍上一層鋁(傳統的PVD製程)接著將monomer(化學聚合物)導入氣體，透過電漿Plasma，讓它產生裂解與聚合，把不需要的成份透過pump排出，留下的則 ...